一、操作前準(zhǔn)備?

1.設(shè)備檢查?

檢查真空系統(tǒng)（機械泵、擴散泵、羅茨泵等）是否正常

確認(rèn)爐體密封性（O型圈、法蘭、閥門無泄漏）

檢查冷卻水系統(tǒng)（流量、壓力是否達(dá)標(biāo)）

確保加熱元件（如石墨、鉬絲）無損壞

2.工件準(zhǔn)備?

清潔工件表面，去除油污、氧化皮等雜質(zhì)

避免使用含鋅、鎘等易揮發(fā)金屬的鍍層

合理裝爐，避免工件接觸加熱元件或爐壁

3.工藝參數(shù)設(shè)定?

根據(jù)材料要求設(shè)定升溫曲線、保溫時間、冷卻方式

確定真空度要求（低真空：10?1~10?3 Pa；高真空：≤10?? Pa）

二、操作流程?

1.抽真空?

先啟動機械泵抽至低真空（10?1~10?2 Pa）

再啟動擴散泵（若需高真空，需預(yù)熱20~30分鐘）

達(dá)到目標(biāo)真空度后，方可開始加熱

2.加熱階段?

按預(yù)設(shè)程序升溫，避免過快導(dǎo)致熱應(yīng)力開裂

在低溫階段（<600℃）適當(dāng)通入惰性氣體（如Ar、N?）以減少揮發(fā)

監(jiān)控爐內(nèi)壓力，防止材料揮發(fā)污染爐膛

3.保溫階段?

保持設(shè)定溫度和時間，確保組織均勻化

持續(xù)監(jiān)測真空度，必要時補充惰性氣體

4.冷卻階段?

氣淬?：通入高純惰性氣體（如N?、Ar）快速冷卻

油淬?：適用于部分合金鋼，需使用真空淬火油

爐冷?：關(guān)閉加熱，自然冷卻至安全溫度（<150℃）

5.破空取件?

冷卻至安全溫度后，緩慢充入空氣至常壓

避免快速破空導(dǎo)致工件氧化或爐體損傷

總結(jié)?：真空爐熱處理的關(guān)鍵在于?真空控制、溫度精準(zhǔn)、冷卻合理?。操作時需嚴(yán)格遵循工藝曲線，確保設(shè)備安全，才能獲得理想的熱處理效果。